某半导体设备制做公司企业因晶圆冲洗工艺程序会产生含氨废液，容量200吨/天。废液中除挥发酚外还有效氟化物和微量分析天价属，补救难度系数大。内地进行排放细则的要求挥发酚＜5mg/L，氟化物＜3mg/L。 生产废水物质及从何而来 晶圆清洁化工废水（重点来原）：含化学需氧量200-300mg/L，氟化物50-80mg/L 刻蚀环节废水处理工艺：含氢化物发生器铜、镍等高价属，pH值下跌大 CMP考虑工业废水：含硅粒子及挥发酚 外理艺过程 用到"催化水解+膜分离处理+折点氯化"结合鑫霖环保： 预治理 ：加药CaCl2除氟，控制pH在7.5-8. 反渗透膜系统性 ：洗去0.01μm以下颗料物 反融合精提 ：将氟化物浓缩液至1000mg/L综上所述 折点氯化 ：正确控住氯加药量，将化学需氧量转化率为离氮气 正离子交換 ：得到保障高价属达到标准 之后效率 氧化还原电位维持＜3mg/L，氟化物＜1mg/L 高价属含磷量少于监测限 水使用率达75% 污水带来量可以减少40%