该厂为89英寸晶圆生育线模块化的超注射用水整体，每顿饭导致含硅废水正确处理150吨。废水正确处理中虽无天价属，但硅含磷量高易结渣，且电阻功率率需高达18MΩ·cm这样才能工业化废水正确处理。多余正确处理工学院艺没办法充分考虑新颁布法律的《智能工业化水被污染的物摆放量规则》（GB39731-2020）比较摆放量标准值。 废气物质优点 主要的破坏物 ：氢氧化铁硅（200-300mg/L）、颗粒剂硅（粒级0.1-1μm） 特别的的要求 ：TOC<10μg/L，硼水分含量<5μg/L 水的硬度特点 ：低纯水电导率（<50μS/cm）但硅有机物特征繁复 治疗新工艺步骤流程 科技创新运用"梯级膜分離+电去正离子"结构工艺设计： 微滤预加工处理 ：1μm淘瓷膜短信拦截大颗粒状硅，通量保持80LMH 铁离子交流光敏树脂 ：D201大孔不饱和树脂选泽性溶解硅酸分子式 二次RO设备 ：首个段回收公司率60%，第一段主要采用高脱硼膜pcb板 EDI电去铁离子 ：直流电溶解度2A/m²，不断地我们要除残留正离子 红外光谱臭氧消毒 ：254nm分光光度计线含量40mJ/cm² 系统新亮点 规划设计专属阻硅剂（无机胺类结合物），抑制膜废弃物周期性3倍 EDI组件创新发展流道设计，硅删去率上升至99.8% 高清在线硅浅析仪（测量方法标准0.1-500μg/L）保证 精细掌握 运动初步成效 经第三个方论文检测： 总硅从280mg/L降为0.05mg/L 硼量从8μg/L降到0.3μg/L 模式二手回成品率从原40%升高至68% 膜更改时间延后至5年，年启动成本费降低35%