该晶圆制作厂隶属于豫东地区,核心制作8屏幕尺寸半导体行业晶圆,每日废水处理工艺排放出物量约800吨。是由于制作环节中选择大批氢氧化钠去晶圆蚀刻,会造成废水处理工艺中氟化物氧化还原电位达200-300mg/L,远超地区排放出物要求(10mg/L下)。
废渣物质及来历
电镀废水其主要出自于八个的环节:
晶圆蚀刻道工序
:含较高浓度值氟化物(HF)、氰化钠及少量出天价属
化学工业机器cnc精密机械加工(CMP)生产废水
:含納米级硅小粒、生物碳络合剂
专用设备进行维护清洁废液
:含异丙醇、化学需氧量等设计物
解决工艺设备方法
应用"化学上的放置物中+混泥土放置物中+深度.过滤水"二级补救操作系统:
6级进行处理
:添加氯化钙和氢脱色钙,建立氟化钙沉淀物,氟化物除掉率达85%
两级进行处理
:更改PAC(汇聚氯化铝)和PAM(聚乙烯酰胺),除去固体态危害物
二级操作
:经过多物质脱水器和活性酶类炭吸,有水出氟化物质量浓度动态平衡在8mg/L下面的
最为关键的机器具有:pH重新自动调节体统、斜管沉淀出的池、板框压泥机(污泥处理脱水器)。
终极功能
項目运作5年污染监测方案信息表明:
氟化物平衡氨水浓度:7.2mg/L(最低國家规定)
COD祛除率:92%
活性污泥含水分率:≤65%
年回笼氟化钙副食品约150吨,达到资源英文化根据